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热式气体质量流量控制器和流量计的一般用什么单位标识呢?
来源:扑克王官网下载手机版 作者:扑克王官网下载地址 时间:2022-10-04 05:26:48 点击次数:10

  人们在使用热式气体质量流量控制器或质量流量计的时候,会看到流量控制器和流量计上面的常规表示单位为:SCCM或SLM;也有g/s或是kg/h等,那么这些单位的表示方法,分别代表着什么意思呢? 也有一些MFC或MFM的表示单位为 g/s(克每秒)或kg/h(千克每小时),也是表示在标准状态下的气体质量流量的单位。

  本公司生产的模拟式和数字式气体质量流量控制器和流量计出厂通常用氮气(N2)标定。质量流量单位:SCCM表示(标准毫升每分钟) SLM表示(标准毫升每分钟);气体质量流量的标定标准状况为:温度--293.15K(20℃) 压力--101325Pa(760mmHg);常用的符号F.S(Full Scale)表示满量程。

  不管客户选用何种表示单位,都代表的是一种标准状况下的气体质量流量,只是单位的表现形式不同而已,需要测量的质量是恒定不变的。质量流量控制器/流量计测量气体是不受温度、压力影响。质量流量控制器不但具有质量流量计的功能,它还能自动控制气体流量,可根据实际需要进行流量设定,并自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值的误差范围。

  松盛测控生产的热式气体质量流量控制器和流量计以及气体动态配比装置目前应用的行业有:真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学与化工实验设备、食品科学与工程设备、能源与环境保护设备、各种分析仪器设备、表面处理、真空冶金及材料工艺、高校及科研院所实验室设备。

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